




氩可以通过空气分离提取,粗氩可以通过与待液化的空气蒸馏获得。进一步纯化后,液氩价格,可获得高纯氩。高纯氩被用作半导体工业之间生产高纯度硅和锗晶体的庇佑空气;可作为惰性空气用于系统清洁、屏蔽和加压;它可用于化学气相沉积、溅射和退火。在半导体工业之间,高纯度氩气被用作生产高纯度硅和锗晶体的庇佑空气。可用作系统清洁、屏蔽和加压的惰性空气。已用于化学气相沉积、溅射和退火;高纯度氩气也可用作色谱载气。在钛、钴和其他活性金属的生产之间用作庇佑空气。用于钢铁冶金特殊钢的转化。
1,深冷分馏法,该法设备大而且复杂,液氩厂家, 只适用于空分制气,不适用于终端净化,例如权利;
2,液氩,合金吸气法使用锆铝合金作杂质吸收剂,英国sircal instruments ltd.生产的mp-2000rare gas purifier 使用金属钛作杂质吸收剂。该法由于吸附容量小,吸收剂贵,只适用于5n级的氩气作原料的---净化;
3,催化脱氧分子筛脱水作初级净化,再用合金吸气剂作深 度净化,但由于脱氧剂的脱氧容量低,只适用于4n 级氩气作原料制取6n级高纯氩,并且再生需要使用氩气和抽真空很不方便。
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