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高纯氩气的制备装置

一级净化塔ty：内装碳质脱氧剂，主要用于o2等杂质的脱除，塔内设置有电加热器，含量为99.9％的工业纯氩物流在200～320℃下脱除其中的杂质氧，并达到出口气中o2≤1ppm；换热器rj1通过管道与一级净化塔相连，高纯氩气公司，将一级净化塔的出口气降温至室温；      

二级净化装置：用于在室温下除去杂质co2和h2o，由两个并联的吸附塔xf1和xf2组成，丰台高纯氩气，塔内装填分子筛吸附剂、塔内设有用于分子筛再生加热的电加热器，两分子筛吸附塔xf1和xf2的进口管分别经电磁阀df1和df2后，再经总管与换热器rj1出口相连，两吸附塔xf1和xf2的出口管分别串接高的过滤器gl1、电磁阀df5以及高的过滤器gl2、电磁阀df6后、再与总管l2相连；且gl1和gl2的出口之间由管路l3连通，管路l3上设置有电磁阀df7；xf1和xf2的进口---别接有放空管，高纯氩气价格，两放空管---别设置有电磁阀df3和df4；    

三级净化塔ht：塔内装填金属吸气剂，塔内设有电加热器，塔的进口管与管路l2相连，塔的出口管上顺次设置有换热器、高的过滤器gl3。

高纯氩气的含义

高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气可用作色谱载气，也可用作---集成电路中混合气体的稀释气。

在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优好钢的重要措施，每炼1t钢的亚气消耗量为1～3立方米。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用亚作保护气。